Читайте только на Литрес

Kitab fayl olaraq yüklənə bilməz, yalnız mobil tətbiq və ya onlayn olaraq veb saytımızda oxuna bilər.

Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Həcm 142 səhifələri

2007 il

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

müəlliflər

Читайте только на Литрес

Kitab fayl olaraq yüklənə bilməz, yalnız mobil tətbiq və ya onlayn olaraq veb saytımızda oxuna bilər.

11,13 ₼

10% endirim hədiyyə edin

Bu kitabı tövsiyə edin və dostunuzun alışından 1,12 ₼ əldə edin.

Kitab haqqında

В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.

Janr və etiketlər

ElektronikaTəcrübələr

Daxil olun, kitabı qiymətləndirmək və rəy bildirmək üçün

Kitab Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова və s. «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — saytda onlayn oxuyun. Şərh və rəylərinizi qeyd edin, sevimlilərinizi seçin.

Yaş həddi:

Litresdə buraxılış tarixi:

29 mart 2018

Yazılma tarixi:

2007

Həcm:

142 səh.

Ümumi ölçü:

18 МБ

Səhifələrin ümumi sayı:

142

Müəllif hüququ sahibi: