Основной контент книги Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Mətn PDF

Həcm 545 səhifələri

2009 il

0+

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

7,66 ₼
10% endirim hədiyyə edin
Bu kitabı tövsiyə edin və dostunuzun alışından 0,77 ₼ əldə edin.

Kitab haqqında

Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.

Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок.

Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Giriş, kitabı qiymətləndirmək və rəy bildirmək
Kitab Л. А. Сейдман, Е. В. Берлина «Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии» - pdf formatında yükləyin və ya onlayn oxuyun. Şərh və rəylərinizi qeyd edin, sevimlilərinizi seçin.
Yaş həddi:
0+
Litresdə buraxılış tarixi:
06 fevral 2019
Yazılma tarixi:
2009
Həcm:
545 səh.
ISBN:
978-5-94836-222-9
Ümumi ölçü:
7.0 МБ
Səhifələrin ümumi sayı:
545
Müəllif hüququ sahibi:
Техносфера
Yükləmə formatı:
Mətn, audio format mövcuddur
Orta reytinq 4,1, 29 qiymətləndirmə əsasında
Mətn, audio format mövcuddur
Orta reytinq 4,5, 115 qiymətləndirmə əsasında
Mətn, audio format mövcuddur
Orta reytinq 4,9, 41 qiymətləndirmə əsasında
Audio
Orta reytinq 4,6, 27 qiymətləndirmə əsasında
Audio
Orta reytinq 0, 0 qiymətləndirmə əsasında
Mətn
Orta reytinq 0, 0 qiymətləndirmə əsasında
Mətn
Orta reytinq 5, 1 qiymətləndirmə əsasında