10% endirim hədiyyə edin
Bu kitabı tövsiyə edin və dostunuzun alışından 0,21 ₼ əldə edin.
Həcm 69 səhifələri
2013 il
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».