10% endirim hədiyyə edin
Bu kitabı tövsiyə edin və dostunuzun alışından 0,30 ₼ əldə edin.
Основной контент книги Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Mətn PDF
Həcm 45 səhifələri
2020 il
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
2,96 ₼
Kitab haqqında
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Daxil olun, kitabı qiymətləndirmək və rəy bildirmək üçün
Kitab Ю. С. Бобровой «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» — saytda onlayn oxuyun. Şərh və rəylərinizi qeyd edin, sevimlilərinizi seçin.
Yaş həddi:
0+Litresdə buraxılış tarixi:
27 iyun 2023Yazılma tarixi:
2020Həcm:
45 səh. ISBN:
978-5-7038-5369-6Ümumi ölçü:
1.5 МБSəhifələrin ümumi sayı:
45Müəllif hüququ sahibi:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
