10% endirim hədiyyə edin
Bu kitabı tövsiyə edin və dostunuzun alışından 0,29 ₼ əldə edin.
Основной контент книги Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Mətn PDF
Həcm 125 səhifələri
2018 il
2,84 ₼
Kitab haqqında
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии – изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физикохимические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Daxil olun, kitabı qiymətləndirmək və rəy bildirmək üçün
Kitab «Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2» — saytda onlayn oxuyun. Şərh və rəylərinizi qeyd edin, sevimlilərinizi seçin.
Yaş həddi:
0+Litresdə buraxılış tarixi:
21 fevral 2024Yazılma tarixi:
2018Həcm:
125 səh. ISBN:
978-5-7038-4864-7Ümumi ölçü:
6.0 МБSəhifələrin ümumi sayı:
125Müəllif hüququ sahibi:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
